擴散泵報警什么原因:

檢查擴散泵上的循環水還有嗎~或者是擴散泵循環水上的傳感壞了.

擴散泵常出現的故障：

1：極限真空變低，原因：

a.系統中有滲漏；

b.系統太臟；

c.泵油污染；

d.加熱功率不夠；

e.冷卻水不足；

f.過量或過冷的冷卻水；

g.前級壓力高；檢查密封性能及前級管道是否有泄漏現象；

h.快冷管內有水。

2： 抽氣較慢，原因：

a.加熱功率低；

b.油量不足；

c.噴帽安裝位置不當或受損。

3：進口壓力波動，原因：

a.加熱器輸入功率不當；

b.油脫氣；

c.擴散泵進口前面系統有滲漏。

4：工作腔污染大，原因：

a.前級壓力高；

b.在高于10-1Pa壓力下長期工作；

c.系統操作有誤。

5：返油率過大，原因：

a. 頂噴嘴帽松動，間隙過大；

b. 加熱功率不對；

擴散泵報警什么原因: